Amelia Barreiro – Blue silicon nanocavities
Zuordnung zum Thema „Tag“: Diese Aufnahme ist bei einer Routineinspektion im optischen Mikroskop entstanden. Das Ziel der Proben war tiefe quadratische Loecher durch ein Si-Substrat zu graben, die durch den ganzen Chip gehen. Dafuer wurden verschiedene SiO2 und Lack-Masken benutzt. Auf dem Bild sieht man, dass der Lack an den Ecken der quadratischoen Loecher durch die agressive Behandlung waehrend des Aetzprozesses gesprengt ist. Ausserdem sieht man in den quadratischen Loechern die bunten Farben des SiO2, die im Kontrast zu dem hellblauen Si-Substrat stehen, was die Farbe des Himmels an einem warmen Sommertag ausstrahlt.
